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對于Fe、Co、Ni、Fe2O3、坡莫合金等鐵磁性材料，要實現(xiàn)低溫、高速濺射沉積，采用普通的磁控濺射方式會受到很大的限制。這是由于采用上述幾種材料制成的靶磁阻很低，大部分磁場如圖1所示的那樣幾乎*從鐵磁性靶材內(nèi)部通過，使靶材表面上部的剩余磁場過小，無法形成有效地電子束縛區(qū)域，不可能形成平行于靶表面的使二次電子作圓擺線運動的強磁場，使得磁控濺射不能進行。此時，磁控濺射就成為效率很低的二極濺射，使薄膜的沉積速度大大下降，基片急劇升溫。相比普通靶材，除了磁屏蔽效應外，在濺射鐵磁性材...

采用對靶磁控濺射系統(tǒng)，可以獲得高沉積速率的磁性膜，且不必大幅度升高基片溫度。對靶磁控濺射系統(tǒng)可以用來制備磁性Fe、Ni及其磁性合金膜。對靶磁控濺射系統(tǒng)其原理如圖3所示。兩只靶相對安置，所加磁場和靶表面垂直，且磁場和電場平行。陽極放置在與靶面垂直部位，和磁場一起，起到約束等離子體的作用。二次電子飛出靶面后，被垂直靶的陰極位降區(qū)的電場加速。電子在向陽極運動過程中受磁場作用，作洛侖茲運動。但是由于兩靶上加有較高的負偏壓，部分電子幾乎沿直線運動，到對面靶的陰極位降區(qū)被減速，然后又被向...

增強濺射陰極磁場的另一種方法是采用高強磁體，通過強磁場飽和更厚的鐵磁性靶材得到靶材表面需要的濺射磁場強度。但是高強磁鐵的價格昂貴，同時采用這種方法增加靶材厚度的效果有限，而且由于強永磁體大小不能改變，這種方法會引起嚴重的等離子體磁聚現(xiàn)象。等離子體磁聚現(xiàn)象的產(chǎn)生使濺射區(qū)靶材很快消耗完而不能繼續(xù)濺射，從而造成靶材利用率很低。采用電磁線圈來產(chǎn)生高強磁場，通過調(diào)節(jié)電磁線圈的電流控制磁場大小來抑制等離子體磁聚。但這種方法的磁場裝置復雜而且成本高，同時電磁線圈還受到濺射陰極尺寸的限制，從...

在真空系統(tǒng)中，高真空插板閥用來切斷或接通管路氣流，按其結(jié)構原理可分為滾珠脹緊型與平行四邊形運動機構撐開型。本文的研究對象ZBS-800高真空插板閥為滾珠脹緊型，滾珠脹緊方式的高真空插板閥主要由閥體(閥殼、閥蓋、密封圈)、閥板組件(脹緊滾珠、密封閥板、承壓閥板、板簧、保持架、導向輪)、驅(qū)動部分(曲柄連桿機構、氣缸、機械到位開關)等部件組成，具體結(jié)構原理圖如圖1所示。真空插板閥是一種雙向密封閥，在正向或反向抽真空時，密封閥板兩面形成0至1大氣壓壓差，均能達到真空密封，壓差作用在密...

根據(jù)ZBS-800型插板閥的組成以及結(jié)構特點，可以采用檢測真空閥門閥板位移、閥門開啟以及關閉過程的聲音、閥門開啟以及關閉所需時間相互結(jié)合的方法對閥門的工作狀態(tài)進行預測。2.1、閥門密封閥板的位移激光位移傳感器是可以進行非接觸位置、位移測量的精密傳感器，在科學研究、工業(yè)生產(chǎn)、空間技術、國防等領域得到了廣泛應用，我們選用激光三角測量法傳感器對閥門密封閥板的位移進行測量，激光三角測量法原理如圖2所示，激光發(fā)射器通過鏡頭將可見紅色激光射向被測物體表面，經(jīng)物體反射的激光通過接收器鏡頭，...

將鐵磁性靶材的厚度減薄是解決磁控濺射鐵磁材料靶材的常見方法。如果鐵磁性靶材足夠薄，則其不能*屏蔽磁場，一部分磁通將靶材飽和，其余的磁通將從靶材表面通過，達到磁控濺射的要求。這種方法的大缺點是靶材的使用壽命過短，同時靶材的利用率很低。而且薄片靶材的另一個缺點是濺射工作時，靶材的熱變形嚴重，往往造成濺射很不均勻。一種對鐵磁性靶材進行的改進設計是在靶材表面刻槽，槽的位置在濺射環(huán)兩側(cè)。這種設計的靶材適用于具有一般導磁率的鐵磁性靶材，例如鎳。但對具有高導磁率的靶材料效果較差。雖然靶材的...

真空截止閥的真空部分主要由內(nèi)閥體和外閥體的中間夾層組成，夾層中氣體越多，對流傳熱就越劇烈，為減少對流換熱的影響，要對夾層進行抽真空處理，殘余氣體的傳熱屬于氣體的能量遷移，對于真空夾層的氣體導熱隨著夾層壓強的不同，氣體的導熱機理不相同。真空夾層的殘余氣體的傳熱分三種情況，分別是：低真空、中真空和高真空，就高真空而言，氣體分子的平均自由程大于容器尺寸，分子間相互碰撞的幾率很低，分子與界面的碰撞比分子間的相互碰撞頻繁得多，氣體中各處溫度相等，氣體分子可以由一個壁面飛向另一個壁面，每...

質(zhì)量流量計它可以測量流體介質(zhì)的質(zhì)量，也可以測量流體介質(zhì)的密度。儀表的量程比會影響它自身測量精度，但是會引起壓降的講法還沒聽過。質(zhì)量流量計根據(jù)哥里奧利效應而制成的質(zhì)量檢測儀表，因此質(zhì)量流量計的檢測不受溫度、壓力、流速、密度、粘度等影響。質(zhì)量流量計的特點質(zhì)量流量計它的檢測精度高、量程范圍寬、可靠性高，而且后期維護量小。在測量流體介質(zhì)質(zhì)量流量時也可以測量流體介質(zhì)的密度。它的輸出信號為4-20maDC模擬量信號，同時又能輸出頻率信號，能更好的與計算機相兼容，因此能構成完善的本質(zhì)安全系...

真空規(guī)管一般是裝在真空鍍膜室的位置，是指電離規(guī)管，玻璃管端部用老虎鉗夾破一點，插進真空室密封好，必須大氣狀態(tài)完成。（還有電阻規(guī)它是測粗真空的，這種沒有規(guī)管，就一個傳感器）用來監(jiān)測真空度的，，電離規(guī)開啟一般是有要求的，當壓強到3PA以下才開真空，可設置壓強參數(shù)，到了會自動開，過早開會氧化電離規(guī)，導致燒壞真空規(guī)管就是測量真空度的傳感器。真空規(guī)管測量出來的信號傳輸?shù)秸婵沼嬌辖?jīng)過放大處理就可以顯示出被測真空環(huán)境的真空度。主要應用于真空環(huán)境的真空度測量領域，如真空鍍膜，太陽能集熱管制作...

充氣密封圈是實現(xiàn)檢漏收集室密封的關鍵，研究其密封性的設計具有重要的工程意義。舊檢漏收集室采用的無棱充氣密封圈的密封效果不佳，且密封可靠性也較差，因此，針對某收集室的新建要求，有必要對充氣密封圈進行重新的設計，以提高檢漏收集室的密封性及可靠性。本文首先根據(jù)充氣密封圈的密封機理，設計出一種新型截面型式的充氣密封圈;其次，通過有限元仿真的對比分析，得到了新舊兩種不同截面型式充氣密封圈密封面上的應力分布規(guī)律，并以此為基礎，確定了新型截面型式充氣密封圈的*性；后，通過對新建收集室的密封...

液氧，液氫在經(jīng)過真空管道及真空截止閥后，1-2小時對真空閥殘余氣體漏熱與常溫下夾層壓強進行了測試，實驗計算結(jié)果表明夾層低溫壓強對應的常溫壓強，與夾層中氫含量和吸附劑的吸附能力密切相關，如果吸附劑的裝填量足夠多，也即吸附劑在低溫下能夠吸附氣體的量大于夾層中可能存在的不凝性氣體的量，對液氫輸送中，可允許稍低的真空度。常溫夾層壓強在40Pa以上殘余氣體漏熱與壓力成非線性關系，如圖1所示。同時在夾層低壓強的狀態(tài)對殘余氣體的漏熱進行了計算分析如圖2和圖3，實驗結(jié)果表明低壓狀態(tài)下殘余氣體...

干式螺桿真空泵是主要是利用一對螺桿，其特點是兩螺桿經(jīng)精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，所以使得干式螺桿真空泵工作時，相互之間無磨擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高。但是在我國使用的螺桿泵主要依靠進口，價格非常昂貴。干式螺桿真空泵，它利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。它的優(yōu)勢彌補了油封式真空泵的不足，我們都稱之為油封式真空泵的升級版...